高壓質量流量控制器是準確測量氣體流量的儀器。由于溫度或壓力的波動，測量值不會錯位。不需要溫度和壓力補償。即使系統壓力波動或環境溫度發生變化，也可以根據需要進行流量設定，自動將流量恒定在設定值。它不會導致它偏離設定值。
高壓質量流量控制器可以準確控制給定量的氣體，用于不同氣體的比例控制，用于許多過程的流量控制。直接測量氣體的質量流量，輸出質量流量信號，無需其他設備。
可以準確測量小流量，使用分流裝置，測量大流量，溫度和壓力范圍大。準確度高，重復性好，產品精度高達±1％FS（滿量程）重復性為±0.25％FS（滿量程）氣流控制器體積小，安裝方便，操作簡單。
質量流量控制器不僅能檢測總流量，并且能在檢測時自動控制總流量。能根據本身的所需設置總流量。一般來說，這種質量流量計僅用作流量測量或監測。該流量控制器采用毛細管傳熱溫差熱法原理檢測氣體質量流量（無氣溫和負擔應對）。傳感器受熱橋測得的總流量訊號送至放大器調大。
檢查出現偏差方法：
1、零點是否有漂移，首先需接通電源，質量流量控制器信號為0的情況下，則需要用萬網表測一下輸出信號值以及看一下電源控制器的反饋信號；
2、氣體是否純凈，如果盤路有污染，那么流量就肯定會收到影響，這個時候可以用高純N2多次清掃，如果還是不能解決則需要找專業維修點接受A/S；
3、質量流量控制器前端壓力是否發到標定壓力，如果質量流量控制器的壓力不夠就會出現達不到標定量程。
